게시일: 2020년 5월 10일 업데이트일: 2024년 10월 7일
반도체 제조 장비의 일반적인 문제 해결 (전처리)
웨이퍼 세척 기계
청소 과정
부품 부식 방지가 필요합니다.
내약품성이 우수한 나사를 선택하여 약품이 사용되는 기기내의 환경에 견딜 수 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:내 화학성
|
내 화학성 |
내열성 |
비 자성 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|---|
|
수지 나사 |
○ |
|||
|
SUS316L 나사 |
○ |
○ |
○ |
|
|
하스텔로이 ＊1 나사 |
○ |
○ |
||
|
세라믹 나사 |
○ |
○ |
||
|
베스펠 ＊2 개 나사 |
○ |
○ |
||
|
헤드용 PFA 코팅 나사 |
○ |
＊1：Hastelloy는 Haynes International, Inc.의 등록 상표입니다.
＊2：VESPEL은 DuPont의 등록상표입니다.
내화학성 나사에 대한 자세한 내용은 여기를 참조하세요▶
산화/확산 장비
열처리/산화/확산공정
고온 및 화학 물질에 대한 내성이 필요합니다.
다양한 가스가 고온에서 사용되는 환경에서는 내열성, 내약품성이 우수한 나사를 선택하십시오.
특수 나사에 필요한 특성:내열성 내 화학성
|
내열성 |
내 화학성 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|
|
인코넬 ＊1 나사 |
○ |
○ |
|
|
하스텔로이 ＊2개 나사 |
○ |
○ |
|
|
MAT21 ＊3 개 나사 |
○ |
＊1：인코넬은 스페셜 메탈스 주식회사의 등록상표입니다.
＊2：하스텔로이는 Haynes International, Inc.의 등록 상표입니다.
＊3：MAT 및 MAT21은 Proterial, Ltd.의 등록 상표입니다.
코터/개발자
성막 공정
향상된 생산 능력이 필요합니다
웨이퍼에 감광막 형성에 필요한 고속 회전을 위해 고강성 커플링을 사용합니다.
커플링에 필요한 특성:고 강성
|
추천 제품 |
|
|---|---|
|
디스크 커플링 |
부품 부식 방지가 필요합니다.
내약품성이 우수한 나사를 선택하여 약품이 사용되는 기기내의 환경에 견딜 수 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:내 화학성
|
내열성 |
내 화학성 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|
|
인코넬 나사 |
○ |
○ |
＊1：인코넬은 스페셜 메탈스 주식회사의 등록상표입니다.
반도체 리소그래피 장비
포토리소그래피 공정
향상된 장비 정확도가 필요합니다.
조인트에 사용되는 작은 나사로도 반사의 영향을 억제하여 노출 정확도를 높일 수 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:반사 방지
|
반사 방지 |
내 화학성 |
골링/압류 방지 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|---|
|
저온 흑색 크롬 처리 나사 |
○ |
○ |
○ |
|
|
블랙 스테인레스 스틸 나사 |
○ |
에칭 장비
에칭 공정
고온 및 화학 물질에 대한 내성이 필요합니다.
각종 가스 및 용제가 고온에서 사용되는 환경에서는 내열성, 내약품성이 우수한 나사를 선정하십시오.
특수 나사에 필요한 특성:내열성 내 화학성
|
내열성 |
내 화학성 |
진공 |
비 자성 |
고강도 |
경량 |
압류 방지 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
세라믹 나사 |
○ |
○ |
||||||
|
세라믹 커버 캡이 있는 나사 |
|
○ |
○ |
|||||
|
하스텔로이 ＊1 나사 |
○ |
○ |
||||||
|
SUS316L 나사 |
○ |
○ |
○ |
|||||
|
티타늄 스크류 |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
표면 경화 나사 |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy는 Haynes International, Inc.의 등록 상표입니다.
모터 손상을 방지해야 합니다.
진공 가변 콘덴서의 통전 방지 대책으로서 절연성이 우수한 부품이 필요합니다.
커플링에 필요한 특성:절연 특성
|
추천 제품 |
|
|---|---|
|
진공 가변 커패시터 용 커플 링 |
이온 주입 장비
이온 주입 공정
개선된 진공도가 필요합니다.
나사 구멍에 갇힌 공기를 제거하여 진공도를 더욱 향상시킬 수 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:진공
|
진공 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|
|
환기구가 있는 나사 |
○ |
고온에서 마모되지 않는 나사가 필요합니다.
1000°C 이상의 환경에서 열 순환으로 인한 마모를 방지하는 나사가 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:내열성
|
내열성 |
압류 방지 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|
|
표면 경화 나사 |
○ |
○ |
향상된 장비 정확도가 필요합니다.
부품의 자기 특성으로 인해 이온이 편향되는 것을 방지하기 위해 패스너에 비자성 부품을 사용해야 합니다.
특수 나사에 필요한 특성:비 자성
비 자성 |
내 화학성 |
고강도 |
경량 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
인청동 나사 |
○ |
|
|
||
티타늄 나사 |
○ |
○ |
○ |
○ |
성막 장비/ 스퍼터링 장비
성막 공정
모터 손상을 방지해야 합니다.
진공 가변 콘덴서의 통전 방지 대책으로서 절연성이 우수한 부품이 필요합니다.
커플링에 필요한 특성:절연 특성
|
추천 제품 |
|
|---|---|
|
진공 가변 커패시터용 커플링 |
고온 및 화학 물질에 대한 내성이 필요합니다.
다양한 가스가 고온에서 사용되는 환경에서는 내열성, 내약품성이 우수한 나사를 선택하십시오.
특수 나사에 필요한 특성:내열성 내 화학성
|
내열성 |
내 화학성 |
비 자성 |
고강도 |
경량 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
세라믹 나사 |
○ |
○ |
||||
|
SUS316L 나사 |
○ |
○ |
○ |
|||
|
몰리브덴 나사 |
○ |
|||||
|
하스텔로이 ＊1 나사 |
○ |
○ |
||||
|
니켈 나사 |
○ |
○ |
||||
|
인코넬 ＊2 개 나사 |
○ |
○ |
||||
|
티타늄 스크류 |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy는 Haynes International, Inc.의 등록 상표입니다.
＊2：인코넬은 스페셜 메탈스 주식회사의 등록상표입니다.
개선된 진공도가 필요합니다.
나사 구멍에 갇힌 공기를 제거하여 진공도를 더욱 향상시킬 수 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:진공
|
진공 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|
|
환기구가 있는 나사 |
○ |
물리적 검사 장비
검사/평가 프로세스
개선된 진공도가 필요합니다.
나사 구멍에 갇힌 공기를 제거하여 진공도를 더욱 향상시킬 수 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:진공
|
진공 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|
|
환기구가 있는 나사 |
○ |
검사 정확도 향상 필요
특수 나사에 필요한 특성:비자 성
|
비자 성 |
내열성 |
내 화학성 |
고강도 |
경량 |
추천 제품 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
수지 나사:PPS |
○ |
○ |
○ |
|||
|
티타늄 스크류 |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
|
|
인청동 나사 |
○ |
나사 풀림 및 오염에 대한 대책이 필요합니다.
비자성 육각 소켓 헤드 캡 나사 라인업을 사용할 수 있습니다.
육각 소켓 헤드 캡 형상은 슬롯형 소켓 및 십자형 소켓에 비해 캠 아웃이 발생하기 어렵기 때문에 오염 방지에 효과적입니다.
64 티타늄의 강도가 높기 때문에 더 높은 토크에서도 조일 수 있어 풀림 대책으로도 효과적입니다.
64개의 티타늄 및 인청동 육각 소켓 헤드 캡 나사 라인업은 M2부터 시작됩니다.
| 사진 |  |
 |
||
|---|---|---|---|---|
| 부품 명 | 육각 소켓 머리 캡 나사 - 고강도 티타늄 합금 |
육각 소켓 머리 캡 나사 - 인청동 |
||
| 부품 번호 | SNSTG |
SNSP |
||
| 재료 | 64 티타늄 | C5191(인청동) | ||
| 스레드 크기 | M2～M10 | M2~M8 | ||
전기 검사 장비
검사/평가 프로세스
향상된 장비 정확도가 필요합니다.
보다 큰 서보 모터 게인을 실현하여 안정화 시간을 단축합니다.
드라이브 구성 요소에 필요한 특성:높은 이득 지원
|
추천 제품 |
|
|---|---|
|
고이득 고무 커플링 |
더 컴팩트한 장비가 필요합니다
S0.6 up 및 M1 up을 포함하여 M2.6 이하의 작은 직경 나사가 있습니다.
특수 나사에 필요한 특성:공간 절약
|
추천 제품 |
|
|---|---|
|
미니어처 나사 |
