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게시일: 2022년 6월 15일 업데이트 날짜: 2023년 12월 19일

2: 진공 환경

진공 기술은 종종 반도체 제조 장비에 사용됩니다.
모든 장비에 진공이 필요한 것은 아닙니다. 플라즈마 또는 전자빔을 사용하는 장비에는 주로 진공이 필요합니다.
진공 챔버는 진공 펌프를 사용하여 진공 환경으로 변환된 상자 또는 방입니다.

여기에서는 진공 환경에서 진공 기기용 나사(특수품)를 사용하는 예를 소개합니다.

반도체 제조 장비에 진공이 필요한 이유는 무엇입니까?

・불순물 저감 및 응답 품질 향상
불순물이 적은 진공 상태에서 성막, 에칭 등의 공정을 행함으로써 보다 높은 품질의 처리가 가능합니다.

・끓는점을 낮추기 위해
끓는점을 낮추면 웨이퍼를 낮은 온도에서 처리할 수 있습니다.
웨이퍼는 온도 변화가 제어될 때 변형되기 쉽습니다.
마지막으로, 고온에 견디도록 제조 장비를 제작하거나 설계할 필요가 없습니다.

・플라즈마 생성
더 낮은 압력은 또한 인가된 전기가 더 낮아질 수 있음을 의미합니다.
진공은 또한 다양한 가스에서 플라즈마가 생성되도록 합니다.

진공 청소기의 종류

실제로 여러 유형의 진공 청소기가 있습니다.
・저진공: 100kPa~100Pa
・중진공: 100Pa~0.1Pa
・고진공: 0.1Pa~10-⁵ Pa
・초고진공：10-⁵Pa 이하

NBK는 진공 환경에서 사용하기에 이상적인 다양한 제품을 보유하고 있습니다.


진공 적용 나사

나사 구멍 또는 드릴 구멍의 바닥에 갇힌 가스의 배출을 지원하는 나사 및 와셔를 사용할 수 있습니다.

진공 장비용 NBK 나사의 환기 구멍은 금속 구조에 거의 영향을 미치지 않는 방법으로 만들어집니다.
사용 중 취성 균열 및 진공 환경에서 아웃 가스 발생을 억제할 수 있습니다.

＜다양한 라인업＞ 진공기기용 나사 풀 라인업은 여기
・낮은 아웃가스
표면 거칠기를 개선하기 위해 특수 화학 연마가 사용됩니다. 아웃가스 양이 극히 적습니다.
 
 
재료 SUSXM7
(SUS304상当)		 티탄
부품 명 배기 구멍이 있는 소켓 머리 캡 나사 환기구 붙이 육각 홀 붙이 볼트 - 육각 홀 붙이 볼트 특수 로우 프로파일의 육각 홀 붙이 볼트
(티타늄, 통풍구 포함)		 십자형 십자형 납작머리 티타늄 작은 나사
(환기 구멍 있음)		 Phillips 십자형 팬 헤드 티타늄 작은 나사
(환기 구멍 있음)		 캡티브 와셔가 있는 티타늄 육각 소켓 헤드 캡 나사
 캡티브 와셔가 있는 티타늄 육각 소켓 헤드 캡 나사
부품 번호 SVSS-PC SVST SVSHT SVFT SVPT SNSI1T
 SNSI3T
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・각종 재료
내식성이 뛰어난 인코넬(동급), 하스텔로이(동급), 비자성 티타늄 등 다양한 소재 라인업을 갖추고 있습니다.

 
재료 SUS304·SUSXM7
(SUS304 상당)		 SUS316L
부품 명 배기 구멍이 있는 소켓 머리 캡 나사 육각 머리 볼트
(환기 구멍 있음)		 육각 소켓 고정 나사
(환기 구멍 있음)		 환기 구멍이있는 소켓 헤드 캡 나사 - SUS316L 와셔 일체형 육각 홀 붙이 볼트
통풍구 - 고강도 스테인리스강		 특수 로우 프로파일의 육각 홀 붙이 볼트
(SUS316L, 통풍구 포함)
부품 번호 SVSS SVHS SVTS SVSL SVSQLG SVSHL

라인업은 여기 라인업은 여기

 

 
재료 인코넬 등가 순수 몰리브덴 하스텔로이 등가 알류미늄 티탄
부품 명 통풍구가 있는 육각 홀 붙이 볼트(인코넬 상당) 환기구가 있는 몰리브덴 육각 홀 붙이 볼트 통풍구가 있는 육각 홀 붙이 볼트(Hastelloy C-22 상당) 통풍구가 있는 육각 홀 붙이 볼트(Hastelloy C-276 상당) 환기 구멍이 있는 알루미늄 육각 홀 붙이 볼트 환기구 붙이 육각 홀 붙이 볼트 - 육각 홀 붙이 볼트
부품 번호 SVSI SVSM SVSH-C22 SVSH-C276 SVSA SVST
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・다양한 모양
로우 프로파일 캡 나사, 와셔 일체형 제품, 클램핑 나사 등 다양한 형상 라인업이 있습니다.
   
모양 예 로우 프로파일 나사 특수 로우 프로파일 나사 육각 기둥 클램핑 고정 나사 와셔 포함 와셔
부품 명 저 프로파일 형 환기구 부착 소켓 볼트 특수 로우 프로파일 형 환기구 부착 소켓 볼트 통풍구가있는 육각 지주 환기구가있는 클램핑 고정 나사 와셔 통합 육각 소켓 헤드 캡 나사 (통풍 구멍 포함)-고강도 스테인리스 스틸 환기구가있는 와셔
부품 번호 SVLS SVSHS SHVAS SCSS-VR SVSQLG SWAS-VF
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・착취 방지
당사 제품은 압류 방지에 이상적입니다.

 
재료 SUS316L SUSXM7 (SUS304와 동일) SUSXM7 (SUS304와 동일)
부품 명 환기구가 있는 소켓 헤드 캡 나사
（통풍구 있음/표면경화처리 있음）		 통풍구가 있는 소켓 헤드 캡 나사 - MoS2 Shot 통풍구 부착 홀 붙이 볼트 / 은도금
부품 번호 SVSL-PN SVSS-MOS SVSS-AG

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점유에 대한 자세한 내용을 보려면 여기를 클릭하십시오.

진공 장치용 나사의 전체 라인업을 보려면 여기를 클릭하십시오.

낮은 아웃가스 제품

진공 장비용 나사 외에도 가스 배출이 적은 다양한 나사 및 커플링이 있습니다.
・나사
 
부품 번호 SPD-C SPDC-H 투기
재료 VESPEL® SP-1 VESPEL® SCP-5000 몰래 엿보다
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・커플링

클린 룸, 진공, 고온 (80 ° C 이상)과 같은 특수 환경에서 사용할 수있는 커플 링을 사용할 수 있습니다.

유형 슬릿 커플 링 올댐(Oldham) 커플링 디스크 연결
모양 클린 · 진공 · 내열 대응 컷팅 (SUS316L) - 클린 핑 타입 클린 · 진공 · 내열 대응 컷팅 (SUS316L) - 클린 핑 타입 클린 · 진공 · 내열 대응 컷팅 (PEEK) - 클린 핑 타입 클린 · 진공 · 내열 대응 컷팅 -오다 타이프 (ベ スペ ル) - 클랜 핑 타입 클린 · 진공 · 내열 대응 컷팅 -오다 맛 (PEEK) - 클린 핑 타입 프레이시블 컷 링 - 디스 크타이프 - 크랭 핑 타 이프 프렌치 블립 컷팅 - 싱글 디딤크 - 클린 핑 타입
부품 번호 XSTS XWSS MSXP MOHS MOP XBWS* XBSS*
재료 SUS316L SUS316L 몰래 엿보다 SUS303
베스펠 **
SUSXM7		 A2017
PEEK
SUSXM7		 SUS303
SUSXM7		 SUS303
SUSXM7
청소 방법 초음파 세척 초음파 세척 초음파 세척 초음파 세척 초음파 세척 초음파 세척 * 초음파 세척 *
낮은 입자 ◎ ◎ ◎ △ △ ○ ○
진공 지원 ○ ○ ○ ◎ ◎ ○ ○
배출 가스 감소 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
내열성 ○ ○ ○ ◎ ◎ ○ ○
내 화학성 ◎ ◎ ◎ ○ ○ ○ ○
제로 백래시 ◎ ◎ ◎     ◎ ◎
높은 토크 ○ ○       ○ ○
높은 비틀림 강성           ◎ ◎
허용 가능 편차 ○   ○ ◎ ◎ ○ ○

◎ :좋음 ○:매우좋음 △:마모가루 발생 가능
＊ XBWS XBSS 는 무청 제품입니다. 요청 시 깨끗한 세탁 및 깨끗한 포장 이 가능합니다.
＊＊VESPEL은 미국 DuPont사의 등록상표입니다.

자세한 내용은 여기를 클릭하십시오

크린룸 "클린룸 세척 / 크린룸 포장 서비스"

크린룸 세척 및 크린룸 패킹이 가능하여 진공챔버나 크린룸에서 직접 사용이 가능합니다.

반도체 제조 공정별 문제 해결 사례

문제 해결 사례를 반도체 제조 공정별로 소개합니다.
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