열 사이클링이란? 반도체 제조에서 특정 장비의 내부는 500°C에서 1000°C에 이르는 매우 높은 온도에 도달할 수 있습니다. 이온 이식 장비의 이온 소스와 리소그래피 도구의 광원이 그 예입니다. 열 사이클링은 이러한 장비 내에서 발생하는 반복적인 온도 변화를 말합니다.
고온 과제에 대한 솔루션 NBK는 이러한 극한의 조건을 처리하도록 설계된 다양한 나사를 제공합니다.
[고온 환경] 텅스텐의 녹는점은 3683℃이고, 순수한 몰리브덴의 녹는점은 2623℃로, 둘 다 녹는점이 높은 재료입니다.
