게시일: 2022년 10월 26일 업데이트일: 2024년 7월 30일
6: 열 순환
열 순환이란 무엇입니까?
특정 장비에 따라 반도체 제조 장비 내부는 500° ~ 1000°의 고온에 도달할 수 있습니다.
예를 들면 이온 주입 장비의 이온 발생기, 리소그래피 장비의 광원 등이 있습니다.
또한 코팅 및 에칭 장비는 웨이퍼를 처리할 때 200° ~ 400°의 온도에 도달할 수 있습니다.
이러한 종류의 장비에서 반복되는 온도 변화를 열 순환이라고 합니다.
예를 들면 이온 주입 장비의 이온 발생기, 리소그래피 장비의 광원 등이 있습니다.
또한 코팅 및 에칭 장비는 웨이퍼를 처리할 때 200° ~ 400°의 온도에 도달할 수 있습니다.
이러한 종류의 장비에서 반복되는 온도 변화를 열 순환이라고 합니다.
NBK는 고온 환경 및 열 순환을 처리하는 데 사용할 수 있는 나사를 제공합니다.
＜고온 환경＞고온 환경을 견디는 나사를 사용할 수 있습니다.
텅스텐 및 순수 몰리브덴 재료는 높은 융점(텅스텐의 경우 3683°C, 순수 몰리브덴의 경우 2623°C)을 자랑합니다.
기타 자료에 대해서는 고객 서비스에 문의하십시오.
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| 재료 | 텅스텐 | 탄탈 | 인코넬 | 순수 몰리브덴 | 탄화규소(SiC) | Al2O3(99.5% 알루미나) | 베스펠 SP-1 |
| 부품 명 | 홈이 있는 치즈 머리 작은 나사(텅스텐) | 육각 홀 붙이 볼트(탄탈륨) | 소켓 헤드 캡 나사 - 인코넬 상당 | 육각 홀 붙이 볼트 - 몰리브덴 | 홈붙이 냄비머리 나사(실리콘 카바이드) | 세라믹 육각 소켓 헤드 캡 볼트 | 플라스틱 나사 - 소켓 헤드 캡 나사 - VESPEL (Grade : SP-1) |
| 부품 번호 | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
| 라인업은 여기 |
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＜고온 + 진공 환경＞
진공 장비의 탈기 구멍은 내열 재료로 가공됩니다.
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| 재료 | 인코넬 | 순수 몰리브덴 |
| 부품 명 | 육각 홀 붙이 볼트(인코넬 상당) | 환기구가 있는 몰리브덴 육각 홀 붙이 볼트 |
| 부품 번호 | SVSI | SVSM |
＜압수 방지＞
열 순환 환경에서 골링 및 고착에 강한 나사를 사용할 수 있습니다.
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| 재료 | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (SUS304와 동일) | SUSXM7 (SUS304와 동일) | SUSXM7 (SUS304와 동일) | SUSXM7 (SUS304와 동일) | SUSXM7 (SUS304와 동일) |
| 부품 명 | 육각 홀 붙이 볼트 - SUS316L / 표면 경화 처리 | 환기구 / 표면 경화 처리가있는 육각 소켓 헤드 캡 나사 | 육각 소켓 헤드 캡 나사 - MoS2 코팅 | 육각 홀 붙이 볼트 - 저온 흑색 크롬 | 육각 홀 붙이 볼트 - PTFE 코팅 | 육각 소켓 머리 캡 나사 - 도금 | 육각 홀 붙이 볼트 - 불소 코팅 |
| 부품 번호 | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
| 라인업은 여기 |
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＜풀림 방지＞
통합 와셔 유형 나사를 사용할 수 있습니다. 스프링 와셔는 열 팽창을 흡수하고 풀림을 방지하는 데 사용됩니다.
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| 재료 | SUSXM7 (SUS304와 동일) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (SUS304와 동일) | SUSXM7 (SUS304와 동일) |
| 부품 명 | 캡 티브 와셔 및 환기구가있는 육각 소켓 헤드 캡 나사 | 와셔 통합 육각 소켓 헤드 캡 나사 (통풍 구멍 포함)-고강도 스테인리스 스틸 | 와셔 일체형 육각 홀 붙이 볼트 고강도 스테인리스 | 캡티브 와셔가 있는 육각 소켓 머리 캡 나사(I=3) | 캡티브 와셔가 있는 필립스 십자형 팬 헤드 기계 나사(I=3) |
| 부품 번호 | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
| 라인업은 여기 | |||||
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| 재료 | TW340(2등급 티타늄) | SUS304와 동일 | SUS304와 동일 |
| 부품 명 | 캡티브 와셔가 있는 티타늄 육각 소켓 머리 캡 나사(I=3) | 캡티브 와셔가 있는 육각 머리 나사(P=2) | 캡티브 와셔가 있는 육각 머리 나사(P=3) |
| 부품 번호 | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
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