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게시일: 2022년 6월 17일 업데이트일: 2024년 10월 7일

3: 공정 가스 및 웨이퍼 세정제

공정 가스(특수 가스)와 세정제(불순물 제거용)는 반도체 제조 공정에서 자주 사용됩니다.

당사의 탄화규소(SiC) 테스트 데이터는 이러한 부식성이 높은 약액과 관련하여 무료로 제공됩니다.


공정 가스란 무엇입니까?

불활성 가스 및 특수 가스(총칭하여 "공정 가스"라고 함)는 성막 및 에칭 공정을 비롯한 반도체 제조 공정에서 자주 사용됩니다.
일부 가스는 SUS304와 같은 스테인리스강 재료도 부식시킬 수 있습니다.

＜공정 가스의 예＞
모노실란 사염화규소 사불화규소 CFC-116 오불화인
아르신 디실란 CFC-218 CFC-32 육불화텅스텐
포스핀 삼불화붕소 브롬화수소 아산화질소 CFC-22
디보란 삼염화붕소 염소 트리클로로실란 CFC-123
게르만 염화수소 삼불화염소 사염화티타늄  
디클로로실란 암모니아 CFC-14 불화수소  
셀렌화수소 삼불화질소 CFC-23 삼불화인  

웨이퍼 세정제는 무엇입니까?

웨이퍼의 먼지와 미세한 불순물을 제거하기 위해 특수 세척제를 사용하는 공정도 있습니다.
SPM(황산 과산화수소 수용액) 및 FPM(불화수소산 과산화수소 수용액)과 같은 세척제는 스테인리스 스틸 및 기타 금속도 녹일 수 있습니다.

＜세정제의 예＞
SC-1(암모니아 과산화수소 수용액)
SC-2(염산과산화수소수)
SPM(황산과산화수소수)
FPM(불화수소산 과산화수소수)
BHF(완충된 불산 용액)

NBK는 내식성이 뛰어난 내화학성 나사를 제공합니다.

공정 가스 또는 웨이퍼 세정제에 노출될 수 있는 환경에서도 사용할 수 있습니다.
내화학성 나사의 전체 라인업은 여기를 참조하십시오.
*내약품성은 사용 조건에 따라 변합니다. 항상 사전에 실제 조건과 유사한 성능 조건에서 테스트를 수행하십시오.

내화학성 나사

메탈릭
 
재료 탄탈 MAT21 ＊1 하스텔로이 ＊2 C-22 하스텔로이C ＊2 -276 인코넬 ＊3 니켈
부품 명 육각 홀 붙이 볼트(탄탈륨) 육각 소켓 헤드 캡 나사 (MAT21 ∗1 ) 소켓 헤드 캡 나사 - 하스텔로이 ＊2 C-22 상당 소켓 헤드 캡 나사 - 하스텔로이 ＊2 C-276 상당 소켓 헤드 캡 나사 - 인코넬 ＊3 상당 육각 홀 붙이 볼트 - 니켈
부품 번호 SNSTA SNSMT SNSH-C22 SNSH-C276 SNSI SNSN
  라인업은 여기 라인업은 여기
＊1：MAT 및 MAT21은 Proterial, Ltd.의 등록 상표입니다.
＊2：하스텔로이는 Haynes International, Inc.의 등록 상표입니다.
＊3：인코넬은 스페셜 메탈스 주식회사의 등록상표입니다.


 
재료 SUS316L SUS310S 티탄
부품 명 소켓 머리 볼트 - SUS316L 소켓 머리 볼트 - SUS310S 육각 홀 붙이 볼트 - 고강도 티타늄 합금
부품 번호 SNSL SNSJ SNSTG
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세라믹/수지
 
재료 탄화규소(SiC) Al2O3(99.5% 알루미나) 엿봄 GF30 몰래 엿보다 PTFE PFA (퍼플 루오로 알콕시 알칸)
부품 명 홈붙이 냄비머리 나사(실리콘 카바이드) 세라믹 육각 소켓 헤드 캡 볼트 플라스틱 나사-육각 소켓 헤드 캡 나사-PEEK GF30 플라스틱 스크류 양단 조인트 형 전 상품 RoHS 대응 PDF 페이지 플라스틱 나사 - 육각 머리 나사 - PTFE 플라스틱 나사 육각 머리 나사 PFA
부품 번호 SICX-SX SCX-C SPEG-C SPE-P SPT-H SPFA-H
  라인업은 여기 라인업은 여기

당사의 탄화규소(SiC) 내화학성 테스트 데이터는 무료로 제공됩니다.


특별한 모양
 
재료 Al2O3(99.5% 알루미나) PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) SUSXM7 (SUS304와 동일) SUSXM7(SUS304 상당) PTFE 코팅(헤드만)
부품 명 커버 캡 커버 캡 - PTFE 커버 캡용 소켓 헤드 캡 나사 육각 머리 나사 머리 부분 PFA 코팅
부품 번호 SCAP-CE SCAP-PT SNCPS SNHS-HTF
  라인업은 여기 라인업은 여기
*커버 캡(SCAP-CE 또는 SCAP-PT) 및 커버 캡용 소켓 헤드 캡 나사(SNCPS)와 함께 사용하십시오.

반도체 제조 공정별 문제 해결 사례

반도체 제조 공정별로 문제 해결 사례를 소개합니다.
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