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발행일: 2022년 7월 06일

4번: 전자빔과 이온

전자빔 및 이온을 이용한 장비

일반적인 장비 예는 다음과 같습니다.
・전자빔 리소그래피 장비
・전자빔 노광장치
・주사형 전자현미경
・이온 주입 장비


이러한 장비 유형은 전자빔 또는 이온에 영향을 미치는 것을 피하기 위해 많은 양의 저자기 부품을 사용합니다.
또한, 전자빔은 공기 중의 분자와 충돌하지 않도록 진공 환경에서 사용되기 때문에 많은 유형의 장비에는 진공 챔버가 포함됩니다.

진공 환경은 여기 를 참조하십시오.

NBK는 비자성 제품을 제공합니다

전체 라인업을 보려면 여기를 클릭하십시오 .
 
재료 탄탈 C5191 (인청동) 64 티타늄 순수 티타늄 티탄 SUS316L
부품 명 육각 홀 붙이 볼트
(탄탈)		 육각 홀 붙이 볼트 - 인청동 육각 홀 붙이 볼트 - 고강도 티타늄 합금 육각 홀 붙이 볼트 - 육각 홀 붙이 볼트 크로스 리 세스 플랫 헤드 기계 나사 - 고강도 티타늄 합금 특수 로우 프로파일 형 소켓 헤드 캡 나사 - 스테인리스
부품 번호 SNSTA SNSP SNSTG SNST SNFTG SSHL
  라인업은 여기 라인업은 여기 라인업은 여기 라인업은 여기


자화를 피해야 하는 위치를 위한 도구도 사용할 수 있습니다.
 
재료 64 티타늄 CFRTP(탄소 섬유 강화 열가소성 수지)
부품 명 티타늄 육각형 키 CFRTP 조정 렌치
부품 번호 SKHTG SKMWCP-200
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반도체 제조 공정별 문제 해결 사례

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